瑞樂半導(dǎo)體

AVS 晶圓型振動量測片

AVS晶圓型振動量測片通過專業(yè)技術(shù)將多個傳感器模塊集成到晶圓上，在半導(dǎo)體制造過程中，利用AVS三軸加速度對晶圓、晶圓傳輸盒、晶圓裝載與檢測集成裝置SMIF以及晶圓盒FOUP的運動進行觀察和優(yōu)化，通過適用于真空環(huán)境的AVS實時震動檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)在不中斷機臺操作狀態(tài)下監(jiān)測晶圓的滑動、滑移、碰撞、刮傷和粗暴搬運情況，當(dāng)檢測到晶圓損害時，精確定位損害位置；若未發(fā)現(xiàn)晶圓損害，則對運動參數(shù)進行優(yōu)化以進一步提升處理過程的安全性和效率。

?

一、產(chǎn)品應(yīng)用范圍

利用 AVS 三軸加速度對晶圓、晶圓傳輸盒、晶圓裝載與檢測集成裝置 SMIF 以及晶圓盒 FOUP 的運動進行觀察和優(yōu)化，通過適用于真空環(huán)境的 AVS 實時檢測系統(tǒng)，實現(xiàn)在不中斷機臺操作狀態(tài)下監(jiān)測晶圓的滑動、滑移、碰撞、刮傷和粗暴搬運情況。

?

二、產(chǎn)品優(yōu)勢

01.無線測溫采集

傳感器無需有線連接即可傳輸數(shù)據(jù)，滿足晶圓在復(fù)雜性狀況下通過無線通信方式進行參數(shù)測量。

?

02.多參數(shù)實時數(shù)據(jù)監(jiān)控

AVS可專業(yè)測量晶圓在制程中的加速度、振動、RMS關(guān)鍵參數(shù)。

?

03.高精度與靈敏度

傳感器具有高精度和靈敏度，能夠滿足嚴格的工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)和要求。

?

04.支持過程調(diào)整與驗證

通過分析在產(chǎn)品工藝條件下收集的參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)調(diào)整工藝步驟的條件，以確保最佳性能。

?

05.輕巧的設(shè)計

AVS系統(tǒng)的輕巧設(shè)計使其能夠適應(yīng)更多的設(shè)備和應(yīng)用環(huán)境，尤其對于空間受限的場合提供更大的靈活性和便捷性。

?

06.低功耗性能

低功耗的特性實現(xiàn)系統(tǒng)可以在不犧牲性能的前提下長時間運行。

?

三、產(chǎn)品參數(shù)配置

?

四、關(guān)于瑞樂半導(dǎo)體

廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司（Guangdong Ruile Semi-Tech CO., Ltd.）成立于2016年，是一家專精于半導(dǎo)體溫度測量和功能測量產(chǎn)品，集研發(fā)、設(shè)計、制造、銷售及產(chǎn)業(yè)鏈服務(wù)為一體的高科技公司，同時是具備優(yōu)秀的自主創(chuàng)新能力的高價值公司。公司積累了半導(dǎo)體行業(yè)溫度測量領(lǐng)域多年經(jīng)驗，融入當(dāng)今先進的工業(yè)計算機技術(shù)，在專業(yè)技術(shù)上不斷迭代創(chuàng)新，短短幾年內(nèi)，垂直發(fā)展成為半導(dǎo)體行業(yè)測溫設(shè)備的專業(yè)供應(yīng)商，成為在該領(lǐng)域具有較強影響力的公司。

?

公司主要產(chǎn)品有TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)、RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)（有線/無線）、On Wafer無線晶圓測溫系統(tǒng)、定制型 Wafer晶圓測溫系統(tǒng)，承壓測溫 Bonding TC Wafer、AMS 晶圓型多功能測試片、ATS晶圓型中心校準(zhǔn)片、AGS晶圓型間隙量測片、VMS晶圓型厚度量測片、ALS 晶圓型水平校準(zhǔn)片、AVS 晶圓型振動量測片、AVLS 晶圓型振動水平測量校準(zhǔn)片、有線/無線真空壓力測量片AVPS、無線測溫晶圓存儲充電數(shù)據(jù)傳輸FOUP等，為半導(dǎo)體企業(yè)提供高精度的晶圓測溫解決方案和晶圓校準(zhǔn)測量解決方案。

?